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產品詳細頁
殘余氣體分析儀

殘余氣體分析儀

  • 產品型號:MICROPOLE系統
  • 更新時間:2024-03-19
  • 產品介紹:微型殘余氣體分析儀是一種較小的質量能譜儀分析系統。通過享有的小型化設計將四電極質量過濾器進行排列,從而獲得了緊湊尺寸。這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度。
  • 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

產品介紹

特征

  • 較為緊湊的安裝尺寸和較輕的重量

與傳統的殘余氣體分析儀相比,尺寸較小,這使它容易整合到您的系統之中。

  • 高性能

在只占傳統電極一小部分的體積里,微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。

  • 高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10-3mbar)的壓力條件下使用,在許多需要昂貴真空泵的應用當中,可以簡化或者省略泵的使用。

  • 已經校準過的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經進行過預調諧和校準。允許客戶自己在現場進行傳感器的更換。

  • 網絡傳感器

升級到八電極后,可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監測。此系統也可以通過以太網進行遠程監測。

  • 用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監測氣體的部分壓力,如趨勢曲線圖,相似性曲線圖,泄露模式,條形統計圖,3D

  • 監測控制

可選擇性的監測控制器可以安裝在反應室的光譜發生器上,使用戶無需電腦可以監測真空反應室。

■測量原理

殘余氣體分析儀是由一個離子源,一個質量分光儀和一個監測單元組成。當殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后,它將被離子化。并且,這些因此產生的離子會加速會合到質量能譜儀上。在質量能譜儀上內,直流和交流電壓被應用到四個圓柱形的電極上(方形排列),從而讓離子因質量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發現。這種離子電流是與殘余氣體的質量成比例的。       

 

         

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